華海清科
華海清科股份有限公司是一家擁有核心自主知識產權的高端半導體設備制造商,主要從事半導體專用設備的研發、生產、銷售及技術服務,主要產品為化學機械拋光(CMP)設備。公司的主要產品為擁有核心自主知識產權的CMP設備。公司也榮獲“天津市科學技術獎(技術發明)一等獎”、“中國機械工業科學技術獎(技術發明)特等獎”、“2018年度、2019年度中國半導體創新產品和技術獎”、“中國好設計金獎”等榮譽。截至2021年12月31日,公司擁有國內外授權專利209項,其中發明專利114項、實用新型專利95項,擁有軟件著作權7項;公司CMP設備已累計出貨超140臺,未發出產品的在手訂單超70臺,設備已廣泛應用于中芯國際、長江存儲、華虹集團、英特爾、長鑫存儲、廈門聯芯、廣州粵芯、上海積塔等國內外先進集成電路制造商的大生產線中。