芯源微

沈陽芯源微電子設備股份有限公司主要從事半導體專用設備的研發、生產和銷售，產品包括光刻工序涂膠顯影設備（涂膠/顯影機、噴膠機）和單片式濕法設備（清洗機、去膠機、濕法刻蝕機），可用于8/12英寸單晶圓處理（如集成電路制造前道晶圓加工及后道先進封裝環節）及6英寸及以下單晶圓處理（如化合物、MEMS、LED芯片制造等環節）。2019年，公司先后獲得“2018年中國半導體設備行業十強單位”、“2018年中國半導體設備五強企業”、“全國第一批專精特新‘小巨人’”等多項殊榮。